Reinraum-Trockenschränke
EHRET Reinraum-Trockenschränke wurden entwickelt in enger Zusammenarbeit mit den führenden Unternehmen der Halbleiterindustrie.
Die Reinraum-Trockenschränke werden speziell an die individuellen Kundenanforderungen angepasst, konstruiert und gefertigt.
Die hauseigene Konstruktion, Fertigung und Inbetriebnahme erfolgt maßgeblich unter der Berücksichtigung der ISO14644 zur Gewährleistung der ISO-Klasse 5.
Die Umluft wird bei den Reinraum-Trockenschränken über H14 HEPA-Filter gefiltert.
Die Temperatur- und Prozessregelung erfolgt über ein 5,7“ TFT Touch Panel.
| Typ | TK RR 973-1-100 | TK RR 1440-1-100 | TK RR 1830-1-100 |
| Volumen | 973 | 1416 | 1830 |
| Außenmaße | |||
| BxHxT (mm) | 2115x1826x1056 | 2235x2535x1070 | 2235x2907x1010 |
| Innenmaße | |||
| BxHxT (mm) | 1200x1014x800 | 1200x1584x745 | 1200x2043x745 |
| Außengehäuse | Edelstahl 1.4301 / AISI 304 gebürstet | ||
| Nutzraum | Edelstahl 1.4301 / AISI 304 matt | ||
| Reinraumklasse | ISO 5 gemäß ISO 14644 | ||
| Prozesstemperatur |
regelbar von +40 bis +160°C (max. 200°C bei Ausstattung mit Standard HEPA-Filter) |
||
Anpassung an individuelle Kunden-/Prozessanforderungen möglich
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Die Reinraum-Trockenschränke werden speziell an die individuellen Kundenanforderungen angepasst, konstruiert und gefertigt.
Die hauseigene Konstruktion, Fertigung und Inbetriebnahme erfolgt maßgeblich unter der Berücksichtigung der ISO14644 zur Gewährleistung der ISO-Klasse 5.
Die Umluft wird bei den Reinraum-Trockenschränken über H14 HEPA-Filter gefiltert.
Die Temperatur- und Prozessregelung erfolgt über ein 5,7“ TFT Touch Panel.
| Typ | TK RR 973-1-100 | TK RR 1440-1-100 |
| Volumen | 973 | 1416 |
| Außenmaße | ||
| BxHxT (mm) | 2115x1826x1056 | 2235x2535x1070 |
| Innenmaße | ||
| BxHxT (mm) | 1200x1014x800 | 1200x1584x745 |
| Außengehäuse | Edelstahl 1.4301 / AISI 304 gebürstet | |
| Innengehäuse | Edelstahl 1.4301 / AISI 304 matt | |
| Reinraumklasse | ISO 5 gemäß ISO 14644 | |
| Prozesstemperatur |
regelbar von +40 bis +160°C (max. 200°C bei Ausstattung mit Standard HEPA-Filter) |
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| Typ | TK RR 1830-1-100 | |
| Volumen | 1830 | |
| Außenmaße | ||
| BxHxT (mm) | 2235x2907x1010 | |
| Innenmaße | ||
| BxHxT (mm) | 1200x2043x745 | |
| Außengehäuse | Edelstahl 1.4301 / AISI 304 gebürstet | |
| Innengehäuse | Edelstahl 1.4301 / AISI 304 matt | |
| Reinraumklasse | ISO 5 gemäß ISO 14644 | |
| Prozesstemperatur |
regelbar von +40 bis +160°C (max. 200°C bei Ausstattung mit Standard HEPA-Filter) |
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Anpassung an individuelle Kunden-/Prozessanforderungen möglich
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